Name=PLC1 Series_LE MaxSigCnt=115 DataFormat=Hex [SigData] 00 M1 測定値（PV) 01 AA 出力1状態モニタ 02 AB 出力2状態モニタ 03 AC 出力3状態モニタ 04 AD 出力4状態モニタ 05 AE 出力5状態モニタ 06 AF 出力6状態モニタ 07 AG 出力7状態モニタ 08 AH 出力8状態モニタ 09 B1 バーンアウト 0A ER エラーコード 0A.0 ER 調整データ破壊エラー 0A.1 ER EEPROM 書き込みエラー 0A.2 ER EEPROM タイムアウトエラー 0A.3 ER 入力取り込みハードエラー 0A.4 ER エンプティ調整実行エラー 0A.5 ER 実液によるスパン設定エラー 0A.6 ER スパン調整実行エラー 0A.7 ER ウェハー処理回数エラー 0A.8 ER 実液による出力設定エラー 0A.9 ER リニアライズテーブル作成エラー 0B ID IDデータ 0C ID IDデータ 0D ID IDデータ 0E MS 比重モニタ 0F ML スケール下限モニタ 10 MH スケール上限モニタ 11 HP ピークホールドモニタ 12 HQ ボトムホールドモニタ 13 MW ウェハー処理回数モニタ 14 MZ エンプティ補正量モニタ 15 A1 出力1設定 16 A2 出力2設定 17 A3 出力3設定 18 A4 出力4設定 19 A5 出力5設定 1A A6 出力6設定 1B A7 出力7設定 1C A8 出力8設定 1D A9 実液出力設定 1E AZ エンプティ調整 1F WT ウェハー処理回数 20 CW ウェハー処理回数初期化 21 HR ホールドリセット 22 IR インターロック解除 23 LK 設定ロック 24 IS デフォルト設定 25 EC エラー解除 26 LU 小数点位置選択 27 LT リニアライズテーブル数設定 28 L0 リニアライズテーブル数設定0 29 L1 リニアライズテーブル数設定1 2A L2 リニアライズテーブル数設定2 2B L3 リニアライズテーブル数設定3 2C L4 リニアライズテーブル数設定4 2D L5 リニアライズテーブル数設定5 2E L6 リニアライズテーブル数設定6 2F L7 リニアライズテーブル数設定7 30 L8 リニアライズテーブル数設定8 31 L9 リニアライズテーブル数設定9 32 LA リニアライズテーブル数設定10 33 F1 デジタルフィルタ 34 XA 出力１種類選択 35 DA 出力１偏差設定 36 QA 出力１インターロック有無選択 37 NA 出力1a接／b接 38 HA 出力1動作すきま 39 TA 出力1タイマ設定 3A XB 出力2種類選択 3B DB 出力2偏差設定 3C QB 出力2インターロック有無選択 3D NB 出力2a接／b接 3E HB 出力2動作すきま 3F TB 出力2タイマ設定 40 XC 出力3種類選択 41 DC 出力3偏差設定 42 QC 出力3インターロック有無選択 43 NC 出力3a接／b接 44 HC 出力3動作すきま 45 TC 出力3タイマ設定 46 XD 出力4種類選択 47 DD 出力4偏差設定 48 QD 出力4インターロック有無選択 49 ND 出力4a接／b接 4A HD 出力4動作すきま 4B TD 出力4タイマ設定 4C XE 出力5種類選択 4D DE 出力5偏差設定 4E QE 出力5インターロック有無選択 4F NE 出力5a接／b接 50 HE 出力5動作すきま 51 TE 出力5タイマ設定 52 XF 出力6種類選択 53 DF 出力6偏差設定 54 QF 出力6インターロック有無選択 55 NF 出力6a接／b接 56 HF 出力6動作すきま 57 TF 出力6タイマ設定 58 XG 出力7種類選択 59 DG 出力7偏差設定 5A QG 出力7インターロック有無選択 5B NG 出力7a接／b接 5C HG 出力7動作すきま 5D TG 出力7タイマ設定 5E XH 出力8種類選択 5F DH 出力8偏差設定 60 QH 出力8インターロック有無選択 61 NH 出力8a接／b接 62 HH 出力8動作すきま 63 TH 出力8タイマ設定 64 HV モニタ出力上限 65 HW モニタ出力下限 66 EG 最終比重設定 67 SW ウェハー処理回数 68 XX スケール上限 69 SG 比重設定 6A J1 スケール1実液設定 6B J2 スケール2実液設定 6C J3 下限側実液補正２ 6D J4 上限側実液補正２ 6E UN 単位設定 6F SP 比重設定切換 70 SS 比重補正機能有無選択 71 DS DI機能選択 72 MM 体積／高さ表示選択 [SigDataEnd]